新钢线第一刀金刚石未磨损,部分钢线出刃率偏高,金刚石颗粒较尖利,新线切开进程,金刚石颗粒与硅片外表冲突,金刚石颗粒尖利部分会有必定概率在硅片上构成深纹理的线 解决方案:
① 钢线改进:下降钢线出刃率,改进钢线上金刚砂颗粒的描摹,削减金刚石颗粒对硅片的切开深度,下降线痕粗糙度;
③ 制程阻拦:切片下机取片承认,反常刀次流程单独自补白流通,针对反常机台检包查验时进行倒片摆开查验,避免反常线. 硅片类-线 非正常现象:线 反常原因:
部分区域切开力分配不均导致线弓较大,呈现大线弓和等距线痕状况;升棒进程中硅片下半部分吸附,钢线在硅片外表留下划痕;
② 提高线痕产生区域切开力(线mm/min,削减进回线规划下降线痕间隔,下降台速 改进切开线弓,全体改进切开纹理,下降中上部钢线磨损
① 根据两边分选机测验原理发现,两边分选机边际方位除掉间隔不一致,导致测验差异;
② 对一切二检进行班前宣导,制止交接班时,一同下料;缩短交接班时刻,接班人员只允许收拾弥补辅料,等接班人员完毕作业后才干开端作业;
③ 向二检宣导文件要求:同一个查验员同一时刻只允许查验同一种规范的物料,制止一同查验A+和等外品;
④ 组织班组长在交接班期间对二检查验方法与现场物料流通进行监控,违规作业人次进行必定的负鼓励查核;
① 色差:针对现在切片存有的断线,跳线反常,多能工在焊线,刃线,分线网时,操作不妥构成严峻色差;
② 线粗:金刚线:正常金刚线金刚石散布均匀,切开出来的硅片纹理均匀,没有深度。全新钢线金刚砂颗粒较大,导 致硅片切开出来纹理有深度;
① 对现有车间技能员,多能工进行技能了解,承认是不是到达上岗要求,不合格者进行下岗处理,一同展开定时技能培 训,训练合格者方可上岗。
② 对FQC检测作业员,进行实样规范训练,查核经过者才能够进行上岗,一同拟定规范样片。
③ 在插片工序前端,将每刀料的尾部10片进行取出,固定机台跑料,进行降级处理;
③ 质量日常巡查稽核并将放置区域要求参加文件内:待定片子承认区域区别P型与N型;
① 脏污:硅片制程中严峻脏污残留在硅片上未整理洗刷洁净;清洗药水作用下降导致清洗不洁净;
② 花篮印:硅片端清洗时,硅片与花篮触摸的方位清洗不洁净导致,花篮未定时清洁;
② 花篮印:优化清洗配方,添加IPQC抽检频次;拟定花篮清洗周期,严格执行、监督;
① 根据EL同心圆的图貌结合曾经的剖析经历,应是氧的不均匀性构成,边际氧环应是大多散布在在间隔硅棒边际~40mm邻近方位;
② 根据边际氧环生成原理,剖析假如工艺窗口过大或许动摇简单构成氧散布的不均匀性;
① 厂内添加拉速动摇过大预警机制,对预警的棒子,质量技能一同承认,添加厂内职工阻拦奖赏,削减漏出危险;
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